时间:2021-05-18
微波等离子体技术半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术,进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片。
微波是指频率为300MHz-300GHz的电磁波,是无线电波中一个有限频带的简称,即波长在0.1毫米~1米之间的电磁波。微波频率比一般的无线电波频率高,通常也称为“超高频电磁波”。微波作为一种电磁波也具有波粒二象性。微波的基本性质通常呈现为穿透、反射、吸收三个特性。对于玻璃、塑料和瓷器,微波几乎是穿越而不被吸收。对于水和食物等就会吸收微波而使自身发热。而对金属类东西,则会反射微波。
由于微波的特性,其在空气中传播损耗很大,传输距离短,但机动性好,工作频宽大,除了应用于5G移动通信的毫米波技术之外,微波传输多在金属波导和介质波导中。微波的频率在300MHz-3000GHz之间,波长在0.1mm到1米之间,是分米波、厘米波、毫米波与亚毫米波的统称。微波频率比一般的无线电波频率高,通常也称为“超高频无线电波”。微波作为一种电磁波也具有波粒二象性。微波量子的能量为1 99×l0 -25~ 1.99×10-21焦耳。
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微波炉烤地瓜用烧烤和微波混合档模式。微波炉是利用食物在微波场中吸收微波能量而使自身加热的烹饪器具。 微波炉(microwaveoven/microwave),
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