微波技术的应用

时间:2021-05-18

微波等离子体技术半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术,进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片。

  微波是指频率为300MHz-300GHz的电磁波,是无线电波中一个有限频带的简称,即波长在0.1毫米~1米之间的电磁波。微波频率比一般的无线电波频率高,通常也称为“超高频电磁波”。微波作为一种电磁波也具有波粒二象性。微波的基本性质通常呈现为穿透、反射、吸收三个特性。对于玻璃、塑料和瓷器,微波几乎是穿越而不被吸收。对于水和食物等就会吸收微波而使自身发热。而对金属类东西,则会反射微波。

  由于微波的特性,其在空气中传播损耗很大,传输距离短,但机动性好,工作频宽大,除了应用于5G移动通信的毫米波技术之外,微波传输多在金属波导和介质波导中。微波的频率在300MHz-3000GHz之间,波长在0.1mm到1米之间,是分米波、厘米波、毫米波与亚毫米波的统称。微波频率比一般的无线电波频率高,通常也称为“超高频无线电波”。微波作为一种电磁波也具有波粒二象性。微波量子的能量为1 99×l0 -25~ 1.99×10-21焦耳。

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